为台资半导体大厂在台湾使用,Substrate检测替换挑板机
也应用在半导体厂中不同工作Tray的更换应用,就是从一种Tray盘更换成另一种Tray盘;
工作流程为:
1)已经检测完的substrate做好了记号,整叠Tray放入自动供料机;
2)Tray进入挑板机后,上视觉侦测Tray的位置偏移,以及每一块Substrate的状态记号和位置;
3)伺服系统将做了记号的Substrate吸取,抛弃,并到好料Tray吸取好Substrate并放入空位替换;
4)当整盘Tray的NG料替换完成后,则到收料机收成一叠;
5)不断循环;
包括2组高速运动系统带动多组吸头,保持极高的产能和替换速度。搭配多组自动Tray Feeder, 收集整盘的OK品。上下视觉系统对位和提供视觉检测功能。
极高的产能速度,适配半导体工厂的产能要求。