行业动态

直线电机，直驱DD马达特点和应用

分为有铁芯直线电机和无铁芯直线电机；

直线驱动，刚性高，定位精度最高达到+/-1微米或者+/-0.1微米；DD马达精度+/-30角秒；

零齿槽力，高速度，实现单轴多动子，行程无限制；

DD马达扭矩大，精度高；

应用于激光检测，扫描，光刻，晶圆，精密车床，微电子组装，等需要高精密，高速的超高精密应用设备；